第588章 自主（2 / 2）

周瑜与李贤审两人，带着几位半导体工程师，在研究楼与其见面。

在相互介绍之后，邹王振教授握着周瑜的右手，主动问道。“周董事长，贵公司对稳态微聚束技术怎么看？”

面对这个问题，虽然周瑜也可以让最新招聘到的光学教授和其他工程师们来回答，但是在看到面前老人眼中的光亮时，他选择了自己回应。

看了看四周，没有额外人员，他微笑着对这位教授回道：“相比于目前阿斯麦公司的光刻机所使用的极紫外光技术，咱们的光学团队都一致认为稳态微聚束是一种更理想的光源，原因在于后者具有更高的平均功率、更高的芯片产量，以及更低的单位成本。

利用激光等离子体产生极紫外光源，将强激光脉冲投射到液态锡滴上。

激光会粉碎液态锡滴，在撞击过程中产生极紫外脉冲光，并在经过复杂的滤波和聚焦后，产生功率约250瓦的极紫外光源。

而在到达芯片之前，这极紫外光束要经过11个镜子的反射，每个镜子都会损失30%的能量，因此光束到达晶圆时的功率小于五瓦。

虽然现在看这个光源制造十纳米制程的芯片，可以说是手到擒来，只要技术规格和设备精度达到了，很快就能够制造出来。